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微電子及半導體

超聲波噴涂技術被視為一種有效的薄膜涂層制備工藝,比如半導體圓表面的光刻膠涂覆,相比于傳統旋涂工藝,超聲噴涂可制備出表面微結構包裹性更好、更均勻的光刻膠涂層。東方金榮的超聲波精密噴涂系統為半導體光刻膠涂覆、PCB助焊劑噴涂、微電子傳感器功能性涂層涂覆等提供了表面涂覆解決方案。

光刻膠噴涂,半導體光刻膠噴涂,晶圓硅片光刻膠噴涂

光刻膠涂覆

東方金榮提供利用先進超聲波噴涂技術的半導體晶圓光刻膠涂覆解決方案,相比于旋涂、浸涂等傳統工藝有著均勻度高、對微結構包裹好、任意面積涂覆等優勢。東方金榮超聲噴涂系統可良好的控制噴涂流量、涂覆速度和載料量,極低的載氣流量確保了噴涂面積的精確性,并極大程度的避免的過噴問題,是傳統空氣噴涂的4倍以上原料利用率。

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助焊劑噴涂,助焊劑超聲噴涂

助焊劑噴涂

東方金榮利用先進的超聲波噴涂技術進行電路板助焊劑涂覆,相比于傳統二流體噴涂方式,其具有更高的均勻度、精度、減少原料浪費從而降低VOCs排放、以及更低的系統維護費用。

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半導體晶圓清洗,半導體硅片清洗,兆聲波清洗

半導體清洗-兆聲波清洗

對半導體晶圓的精密清洗方式為兆聲清洗。兆聲清洗技術一直被美國和日本等發達國家所掌控,東方金榮經過多年研發,已成功研制出最高可達到3000kHz的兆聲波清洗技術。

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傳感器涂層噴涂,傳感器涂層制備, 超聲波噴涂

傳感器

東方金榮的超聲波噴涂系統為多種傳感器及微電子電路如生物傳感器、微流控芯片、溫度傳感器、氣體傳感器、壓力傳感器等提供高分子聚合物、導電層、催化劑、染料等多種高精度高均勻度的功能性薄膜制備。

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